Encoder - Sinus / Cosinus auswerten

Gute Nachricht: Du hast gerade die Anforderungen von 10nm Genaugkeit (d.h. Unsicherheit <10nm) auf 10nm Auflösung geändert.
DAS ist ein großer Unterschied. Nur sind die 10 nm Auflösung ein akademischer (Sorry) Furz, wenn die Genauigkeit oder die zumindest die Wiederholgenaugkeit 3 bis 4 Dekaden drüber liegen.

Ja ZERODUR ist schon eine feine Sache, aber die Kolben, Zylinder etc werden sich bei den Temperaturen munter verbiegen und strecken ....
Dichtung/Kolben ... Volumenänderung ...Druck .. alles vom Material und dessen Ausdehnungs/Temperatur (aber auch Elatizität) abhängig. Ich empfehle dringend eine allgemeine Fehlerbetrachtung ... Du wirst merken, die Temperatur ist Dein größter Feind. Die Längenauflösung wird vermutlich Dein kleineres Problem sein

Die 3-4 Dekaden sind meine Schätzung ohne jetzt Deinen Aufbau zu kennen. Ich habe hier nur Kollegen, die die Temperaturunterschiede im u~mK Bereich messen und kompensieren...

Aber die 10nm Pseudoauflösung sind für und mit Computer kein Problem

Wer in solche Bereiche möchte, braucht dann aber mit der Datenerfassung nicht zu sparen, und kann sich noch eine Karte für die digitale Schnittstelle leisten